特許
J-GLOBAL ID：200903070926938065

ナノスケールフィーチャを備えたテンプレートが形成されている構造体およびその作製方法

発明者：
ジェームス ダブリュー.ステイシアック

ジェームス ダブリュー.ステイシアック について

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ケビン フランシス ピーターズ

ケビン フランシス ピーターズ について

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ペイベル コーニロビッチ

ペイベル コーニロビッチ について


出願人/特許権者：
ヒューレット-パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.

ヒューレット-パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. について


代理人 (4件)： 後藤 政喜 ,  上野 英夫 ,  藤井 正弘 ,  飯田 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-132877
公開番号（公開出願番号）：特開2008-260297
出願日： 2008年05月21日
公開日（公表日）： 2008年10月30日
要約：
【課題】本発明は、基板上にナノスケール物体の数、サイズ、形状、向き、パターンおよび位置を制御して製作されたナノスケール構造体およびその作製方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明の1実施例による構造体およびその作製方法は、開口部の形成されているレジスト層を備えたテンプレートに、ナノスケール物体を制御してアセンブリを構成させた、基板に配置するナノスケールフィーチャを備えたパターンを形作るテンプレートが形成されているものである。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
基板上にレジスト層を形成し、 テンプレートを形成するために、前記レジスト層にインプリントリソグラフィを用いてナノスケール開口部の規則的なパターンを作り、前記インプリントリソグラフィは、前記レジスト層にインプリントの型を型押しすることを含むものであり、 ナノチューブとナノ微粒子を含むグループから選ばれた複数のナノスケール物体が供給され、 前記ナノスケール物体を前記テンプレートの前記開口部に収容することを特徴とする規則的なパターンのナノスケール物体を有する構造体を作製する方法。
IPC (3件)：
B29C 59/02 ,  B82B 3/00 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
B29C59/02 B ,  B82B3/00 ,  H01L21/30 502D
Fターム (13件)：
4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28
引用特許：
審査官引用 (10件)
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引用文献：
審査官引用 (4件)
  • Microelectronic Engineering, 1997, 35, p.237-240
  • Microelectronic Engineering, 2002, 61-62, p.393-398
  • Microelectronic Engineering, 2002, 61-62, p.423-428
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