特許
J-GLOBAL ID：200903070928966767
処理ガス供給系のクリーニング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-328283
公開番号（公開出願番号）：特開平9-143740
出願日： 1995年11月22日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：
【要約】【課題】 液状の高粘度の有機金属材料を効果的に除去することができる処理ガス供給系のクリーニング方法を提供する。【解決手段】 液状の高粘度の有機金属材料16を、供給通路24を介して気化手段28に供給して気化させて処理ガスを形成し、この処理ガスを処理装置22へ供給する処理ガス供給系14を全体的或いは部分的にクリーニングする方法において、クリーニングすべき対象となる供給通路部分を、前記有機金属材料の粘度を下げる温度で且つこれが熱分解しない温度範囲で加熱し、前記供給通路部分にパージ用ガスを流して粘度の低下している有機金属材料を排除し、次に、前記有機金属材料の粘度を下げた状態で前記有機金属材料と反応しない有機溶媒を前記供給通路部分に導入することにより残留する有機金属材料を溶解してクリーニングするように構成する。これにより、粘度を低下させた状態でガスパージを行い、且つその後に、有機溶媒で残留物を溶解することにより、有機金属材料を略確実に排除することが可能となる。
請求項（抜粋）：
液状の高粘度の有機金属材料を、供給通路を介して気化手段に供給して気化させて処理ガスを形成し、この処理ガスを処理装置へ供給する処理ガス供給系を全体的或いは部分的にクリーニングする方法において、クリーニングすべき対象となる供給通路部分を、前記有機金属材料の粘度を下げる温度で且つこれが熱分解しない温度範囲で加熱し、前記供給通路部分にパージ用ガスを流して粘度の低下している有機金属材料を排除し、次に、前記有機金属材料の粘度を下げた状態で前記有機金属材料と反応しない有機溶媒を前記供給通路部分に導入することにより残留する有機金属材料を溶解してクリーニングするように構成したことを特徴とする処理ガス供給系のクリーニング方法。
IPC (4件)：
C23C 16/44
, H01L 21/205
, H01L 21/304 341
, H01L 21/285
C23C 16/44 J
, C23C 16/44 C
, H01L 21/205
, H01L 21/304 341 Z
, H01L 21/285 C
