特許

J-GLOBAL ID：200903070931214040

超狭帯域化フッ素レーザ装置及びフッ素露光装置

発明者： 武久 究
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169772
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357837
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 波長幅が1〜2pmの波長のラインを約0.2pm程度まで狭帯域化されたフッ素レーザのレーザ光の波長を正確に校正することのできる超狭帯域化フッ素レーザ装置及びフッ素露光装置を提供する。【解決手段】 パワーモニタ19は、符号18bで示される位置で停止されているミラー18からのレーザ光L12の出力を検出し、この検出結果を、信号線20aを介して制御装置21に送出する。制御装置21は、信号線20bを介して回転ステージ22を回転制御して、エタロン17を僅かづつ回転させながら、レーザ光L12の出力を測定し、この測定結果に基づいて、エタロン17の最適な設定角度を求める。この最適な設定角度になるように、回転ステージ22、つまりエタロン17が回転されることにより、レーザ光L11の波長は、強いラインL1の中心波長に合うことになる。

請求項（抜粋）：

フッ素レーザのレーザ光を狭帯域化して露光装置の光源として供給する超狭帯域化フッ素レーザ装置であって、自己による選択波長が調整されると共に、入射される前記フッ素レーザのレーザ光を狭帯域化して出力する波長選択素子と、前記波長選択素子から出力されるレーザ光の出力をモニタするモニタ手段と、前記モニタ手段によりモニタされたモニタ結果に基づき、前記波長選択素子から出力されるレーザ光の出力を最大にすべく、前記波長選択素子による選択波長を調整する調整手段とを備えることを特徴とする超狭帯域化フッ素レーザ装置。

IPC (4件)：

H01S 3/137 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/139 ,  H01S 3/223

FI (4件)：

H01S 3/137 ,  H01S 3/139 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01S 3/223 Z

Fターム (29件)：

5F046BA03 ,  5F046CA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB02 ,  5F046CB07 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DB11 ,  5F046DC01 ,  5F071AA06 ,  5F071HH02 ,  5F071HH05 ,  5F071JJ10 ,  5F072AA06 ,  5F072HH02 ,  5F072HH03 ,  5F072HH05 ,  5F072JJ13 ,  5F072KK05 ,  5F072KK06 ,  5F072KK08 ,  5F072KK15 ,  5F072KK18 ,  5F072MM17 ,  5F072RR05 ,  5F072SS06 ,  5F072YY09

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開平3-262183
  
• 特開平3-262183
  
• 特開昭63-186489
  
• 特開昭63-186489
  
• 特開平3-262183
  
• 特開昭63-186489