ガラス状炭素製ダミーウエハ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：穂高哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-264444
公開番号（公開出願番号）：特開平11-102847
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】 IC製造工程における治具や機械類の動作試験等を目的として、シリコンウエハと同じプロセスで使用される、耐食性に優れ、高純度で、鏡面性及び強度的にも優れたガラス状炭素からなるダミーウエハを提供する。【解決手段】灰分量が18ppm以下であるガラス状炭素からなるガラス状炭素製ダミーウエハ。

請求項（抜粋）：