特許

J-GLOBAL ID：200903070939087129

洗浄装置

発明者： 桜井 直明 ,  永原 義幸 ,  黒川 禎明 ,  佐藤 均 ,  土井 敏
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  株式会社芝浦製作所
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143410
公開番号（公開出願番号）：特開平7-006987
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】この発明は被洗浄基板を洗浄することによってロ-ルブラシのブラシ毛に付着した微粒子が上記被洗浄基板に転移するのを防止した洗浄装置を提供することにある。【構成】 所定方向に搬送される被洗浄基板2の表裏両面をロ-ルブラシ10で洗浄する洗浄装置において、上記ロ-ルブラシは、上記被洗浄基板の搬送方向に対して交差する方向に対向して配設され、かつ対向する一対のロ-ルブラシは、これらの間から上記被洗浄基板が搬出されたときに、互いのブラシ毛10aが接触する間隔で配置されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

所定方向に搬送される被洗浄基板の表裏両面をロ-ルブラシで洗浄する洗浄装置において、上記ロ-ルブラシは、上記被洗浄基板の搬送方向に対して交差する方向に対向して配設され、かつ対向する一対のロ-ルブラシは、これらの間から上記被洗浄基板が搬出されたときに、互いのブラシ毛が接触する間隔で配置されていることを特徴とする洗浄装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 1/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-224332
  
• 特開昭61-279857
  
• 特開昭63-224332