特許

J-GLOBAL ID：200903070939105194

走査型顕微鏡

発明者： 木村 俊仁
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-287696
公開番号（公開出願番号）：特開平5-127089
出願日： 1991年11月01日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】 レーザ光源から発せられた光ビームを試料上において収束させる集光レンズを、該光ビーム内で光軸と直交する方向に往復移動させて、光ビームを試料上において走査させるようにした走査型顕微鏡において、光ビームの強度分布によるムラの無い高画質の試料像を撮像可能とする。【構成】 集光レンズ17に入射する前のレーザビーム(照明光)11を逆ガウシアンモードフィルター13に通して、その強度分布をガウス分布からほぼ一様分布に変換させる。

請求項（抜粋）：

試料が載置される試料台と、光ビームを発するレーザ光源と、この光ビームを試料上において微小な光点として結像させる、該光ビームよりも小径の集光レンズを含む送光光学系と、前記試料からの光束を集光して点像に結像させる受光光学系と、この点像を検出する光検出器と、前記集光レンズを保持する移動台と、この移動台を、集光レンズに前記光ビームが入射する範囲内で光軸と直交する方向に往復移動させて、前記光点を試料上において走査させる駆動手段とを備えた走査型顕微鏡において、前記集光レンズに入射する前の光ビームの強度分布を、ガウス分布からほぼ一様分布に変換するフィルターが設けられたことを特徴とする走査型顕微鏡。