特許

J-GLOBAL ID：200903070942329702

原子間力顕微鏡における超音波振動検出方法及び原子間力顕微鏡における試料観察方法

発明者： オレグ コロソフ ,  山中 一司 ,  渡辺 和俊
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  セイコー電子工業株式会社
代理人 (2件)： 川井 治男 (外1名) ,  川井 治男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-133878
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323843
出願日： 1993年05月12日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 1MHz以上の周波数の超音波振動をAFM の試料に発生させ、通常のカンチレバーを用いて検出することによって、AFM における粘弾性的性質等を1MHz以上の周波数で測定することを可能にする原子間力顕微鏡における超音波振動検出方法及び原子間力顕微鏡における試料観察方法を提供すること。【構成】 原子間力顕微鏡1において、試料8にカンチレバー11の共振周波数より十分高い超音波周波数の振動を加える。探針4と試料8間に働く力が距離に対して非線形な依存性を示すので、振動の振幅に依存する変位がカンチレバー11に誘起される。この変位を測定して超音波を検出する。

請求項（抜粋）：

試料表面と探針の間に作用する力により、微小領域の凹凸の映像化を行う原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope;AFM )において、試料にカンチレバーの共振周波数より十分高い周波数の超音波振動を発生し、試料の超音波振動の振幅に依存する変位をカンチレバーに誘起して、この変位を検出することを特徴とする原子間力顕微鏡における超音波振動の検出方法。