特許

J-GLOBAL ID：200903070943775269

超音波励振装置及びこれを具備した超音波洗浄装置

発明者： 小山 克宏 ,  橋本 芳樹
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-113356
公開番号（公開出願番号）：特開平10-094756
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 洗浄用流体が減少した際の空焚きを確実に防止した超音波洗浄装置及び超音波励振装置を提供すること。【解決手段】 減少が想定される洗浄用流体に相応した音響インピーダンスを有する導波体を設け、以て、上記の効果を得ている。

請求項（抜粋）：

約500KHz以上の超音波振動を発する振動子と、該振動子に結合されて超音波振動を導く導波体とを有する超音波励振装置であって、前記導波体は、前記超音波振動の進行方向における寸法が該超音波振動の半波長の略整数倍に設定され、前記振動子、導波体及び外部負荷の各音響インピーダンスを夫々Rm<SB>1</SB>、Rm<SB>2</SB>及びRm<SB>3</SB>としたときに次式を満足するように設定されていることを特徴とする超音波励振装置。Rm<SB>1</SB><Rm<SB>2</SB><Rm<SB>3</SB>

IPC (3件)：

B06B 1/06 ,  B08B 3/12 ,  H01L 21/304 341

FI (3件)：

B06B 1/06 Z ,  B08B 3/12 B ,  H01L 21/304 341 T

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭57-024666
  
• 特開平3-271673
  
• 噴射形超音波洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-040720   出願人：株式会社国際電気エルテック, 株式会社渡邊商行
• 特開昭57-024666
  
• 特開平3-271673