特許
J-GLOBAL ID：200903070949065077
窒化物単結晶及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-094078
公開番号（公開出願番号）：特開平10-053495
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：
【要約】【課題】 良質で実用特性を満たすことができ、バルク素材として十分実用に供し得る大きさの窒化物単結晶、及びその簡単で効率的な製造方法を提供する。【解決手段】 窒化物の粉末と酸化物の粉末の混合粉末、又はアモルファス窒化物の粉末を原料粉末7とし、窒素雰囲気中において該窒化物の昇華温度又は溶融温度よりも低い温度で加熱することにより前記窒化物の粉末を分解気化せしめ、分解気化成分を気相から基板8上に結晶成長させる。不純物が少なく、例えば長さ及び幅共に10mm以上且つ厚み300μm以上、又は長さ20mm以上且つ直径10μm以上の大型の窒化物単結晶が、短時間で得られる。
請求項（抜粋）：
長さ及び幅が共に10mm以上且つ厚みが300μm以上、又は長さが20mm以上且つ直径が10μm以上であることを特徴とする窒化物単結晶。
IPC (2件)：
FI (5件)：
C30B 29/38 C
, C30B 29/38 A
, C30B 29/38 D
, C30B 29/38 Z
, C30B 23/00
