特許

J-GLOBAL ID：200903070950965766

単結晶引上げ装置

発明者： 白石 裕 ,  寺嶋 一高
出願人/特許権者： 新技術事業団 ,  白石 裕 ,  寺嶋 一高
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-310966
公開番号（公開出願番号）：特開平6-135792
出願日： 1992年10月26日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：

【要約】【目的】 融液から引き上げられている単結晶の周面にある隙間を一定に保ちながら、一定した条件下で単結晶を育成する。【構成】 ルツボ10に収容されている融液14とスクリーン30との間に、単結晶15を取り囲む開口部25を形成す複数枚の遮蔽ブレード31を配置する。遮蔽ブレード21は、操作ロッド23によって、引き上げられている単結晶15の径に応じて移動する。【効果】 遮蔽ブレード21の位置調整により、遮蔽ブレード21の内側縁から単結晶15の周面までの距離が一定に保たれる。そのため、単結晶15は、育成初期から定常状態を経て育成後期に至るまで同じ条件下におかれ、転位等の欠陥がない一定した品質の製品となる。

請求項（抜粋）：

単結晶引上げ部に開口部を形成する複数枚の遮蔽ブレードを、ルツボに収容されている融液の液面とスクリーンとの間に配置し、前記遮蔽ブレードの内側縁から前記単結晶の周面までの空隙の面積が結晶育成の条件に応じて最適となるように、引き上げられている前記単結晶の径に応じて前記遮蔽ブレードを移動させることを特徴とする単結晶引上げ装置。