水素分布計測を可能とする光ファイバ水素センサ及びそれを用いた測定法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：大城重信 , 山田益男 , 佐藤文男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-169856
公開番号（公開出願番号）：特開2005-351651
出願日： 2004年06月08日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：

【課題】本発明が解決しようとする課題は、本質的に防爆構造であって、かつセンサの検知部を長尺の線状あるいは面状とすることで水素漏洩を検知するばかりではなく、水素漏洩箇所に関する位置情報も得ることのできる水素センサを提供することにある。【解決手段】本発明の水素センサは、白金触媒を担持した酸化タングステン薄膜を水素感応物質として使用し、その水素感応部を光ファイバの長尺方向に広く配置する。エバネッセント波吸収式では、コアに上記の薄膜を500nm以下になるよう制御した。FBG型センサではFBG部のクラッド周面に白金触媒担持酸化タングステン粉末を膜厚1μm以上の厚さで固定化した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ゾルゲル法にて固定化した膜厚500nm以下の白金触媒担持酸化タングステン薄膜が長尺の光ファイバのコア外周面に均一な膜厚で配置された光ファイバ型水素センサ。

IPC (5件)：

G01N21/41 , G01M3/00 , G01M3/38 , G01M11/00 , G01N21/27

FI (5件)：

G01N21/41 Z , G01M3/00 D , G01M3/38 A , G01M11/00 U , G01N21/27 C

Fターム (18件)：

2G059AA05 , 2G059CC02 , 2G059EE02 , 2G059EE10 , 2G059EE12 , 2G059GG01 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059JJ17 , 2G059MM01 , 2G059PP02 , 2G067AA48 , 2G067BB16 , 2G067BB25 , 2G067CC04 , 2G067DD11 , 2G086DD05

引用特許：

出願人引用 (2件)

水素ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-036496 出願人：松下電器産業株式会社
ガスセンサ用の膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-133239 出願人：岡崎慎司, 中川英元, 朝倉祝治, 富士電機株式会社

審査官引用 (3件)

ガスセンサ用の膜とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-370062 出願人：岡崎慎司, 中川英元, 朝倉祝治, 富士電機株式会社
ガスセンサ用の膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-133239 出願人：岡崎慎司, 中川英元, 朝倉祝治, 富士電機株式会社
波長計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-309326 出願人：富士電機株式会社

引用文献：

審査官引用 (5件)

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