特許
J-GLOBAL ID:200903070964032878

バキューム・テーブル

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 上島 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-026145
公開番号(公開出願番号):特開平7-214442
出願日: 1994年01月28日
公開日(公表日): 1995年08月15日
要約:
【要約】【目的】被加工材料を固定する表面層の上面の被加工材料の周囲にマスキングを行うことなしに、当該表面層に被加工材料を確実に吸着固定することができ、しかも簡潔な構造で製造コストの大幅な低減を図ることのできバキューム・テーブルを提供する。【構成】上下に貫通する吸気路を有する基台51と、この基台51上に載置された複数種類の板状体を積層してなる多層体とを有して構成され、少なくとも多層体を構成する複数種類の板状体は、多層体の最上層に配置される略均一に分布した多数の微細な貫通孔を備えた通気性を有するシートの表面層部材54と、表面層部材54の下面に配置される三次元網目構造を有する多孔質体の第2層部材53とより構成され、吸引手段によって基台51の吸気路51aを介して多層体内を減圧する。
請求項(抜粋):
上面および吸気路を除いて空気の流出入を禁止され、吸気路を介して内部を減圧することにより、上面に載置した被加工材料を吸引固定することのできるバキューム・テーブルにおいて、上下に貫通する吸気路を有する基台と、前記基台上に載置された複数種類の板状体を積層してなる多層体とを有して構成され、少なくとも前記多層体を構成する複数種類の板状体は、前記多層体の最上層に配置される略均一に分布した多数の微細な貫通孔を備えた通気性を有するシートと、前記シートの下面に配置される三次元網目構造を有する多孔質体とより構成され、吸引手段によって前記基台の吸気路を介して前記多層体内を減圧することを特徴とするバキューム・テーブル。

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