特許

J-GLOBAL ID：200903070970250151

電子プロ-ブマイクロアナライザ-

発明者： 丹羽 直昌
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005423
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208087
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 電子プローブマイクロアナライザーにおいて、試料表面形状が変化した場合であっても、自動高さ補正を破綻させることなく線分析やマッピング分析を継続して行うことができ、また、信頼性の高い測定データを得る。【解決手段】 光学的焦点位置検出装置2と、試料ステージ12をZ軸方向に駆動するZ軸駆動手段13と、光学的焦点位置検出装置2からの合焦信号レベルに応じて、Z軸座標の近似値と光学的焦点位置検出装置で得られるZ軸座標値を切り替え、Z軸駆動手段のZ軸制御データとする制御切替手段3とを備え、Z軸制御データを切り替えることによって継続した自動高さ補正を可能とし、測定データの信頼性を高める。

請求項（抜粋）：

電子線の照射によって試料から放出される特性X線により試料表面の元素分析を行う電子プローブマイクロアナライザーにおいて、光学的焦点位置検出装置と、試料ステージをZ軸方向に駆動するZ軸駆動手段と、光学的焦点位置検出装置からの合焦信号レベルに応じて、Z軸座標の近似値と光学的焦点位置検出装置で得られるZ軸座標値を切り替え、Z軸駆動手段のZ軸制御データとする制御切替手段とを備える、電子プローブマイクロアナライザー。

IPC (3件)：

H01J 37/252 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20

FI (3件)：

H01J 37/252 A ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 A

Fターム (22件)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001FA16 ,  2G001FA30 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001JA02 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001KA01 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC05 ,  5C033MM01 ,  5C033PP02 ,  5C033PP04