特許

J-GLOBAL ID：200903070973571110

圧電型振動センサ

発明者： 高橋 克彦 ,  中山 四郎 ,  谷田 光隆 ,  國村 智 ,  今井 隆之
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： 志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-341538
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172840
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】 振動センサの構成を簡略化かつ小型化してコストダウンを実現せしめ、方向性のある振動を分離測定することのできる汎用性に富んだ圧電型振動センサの提供。【構成】 4つの分割電極のうち分割電極37,39は、検知軸であるx軸上に形成され該x軸によって分けられる部分が該x軸に対して線対称をなし、分割電極38,40は検知軸であるy軸上に形成され、該y軸によって分けられる部分が該y軸に対して線対称をなし、さらに上記4つの分割電極37,38,39,40は、上記交点Pに対してそれぞれ点対称に形成されている。【効果】 1つのセンサチップによる3次元方向の振動の分離測定が可能となり、いわゆる汎用測定器の使用できるので、汎用性が高い。

請求項（抜粋）：

台座上に、膜状圧電体と荷重体を積層した構造を有する圧電型振動センサにおいて、上記膜状圧電体の一方の面に第1の電極を設け、他方の面には第1分割電極、第2分割電極、第3分割電極および第4分割電極に分割された4つの分割電極を設け、上記4つの分割電極は、上記他方の面の中心を交点として直交する2軸をそれぞれx軸,y軸とし、上記4つの分割電極の内、第1分割電極と第3分割電極は上記x軸上に形成され、該x軸によって分けられる部分が該x軸に対して線対称をなし、第2分割電極と第4分割電極は、上記y軸上に形成され、該y軸によって分けられる部分が該y軸に対して線対称をなし、かつ上記4つの分割電極は、上記交点に対してそれぞれ点対称に形成されてなり、上記第1の電極と上記各分割電極との間に生じた電位差に基づいて3次元方向の振動を測定せしめることを特徴とする圧電型振動センサ。