特許
J-GLOBAL ID：200903070981054931
半導体レーザデジタル振動変位計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-083374
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294680
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 光学系及び信号処理系を簡略化した半導体レーザデジタル振動変位計測装置を提供する。【構成】 半導体レーザを用いて振動する物体の変位を測定する半導体レーザデジタル振動変位計測装置であって、レーザ発振周波数が固定された半導体レーザ1と、前記半導体レーザ1に電流を供給する駆動回路9と、前記半導体レーザ1の射出光を対象物3の表面に照射し、その反射光の一部が戻り光として前記半導体レーザ1に結合するように配置された光学素子2と、前記対象物3の振動変位に関係して生ずる半導体レーザ1の出力の変化を検出する受光素子4と、前記受光素子4の出力から信号成分を増幅する増幅回路5と、該増幅回路5の出力のドップラビート波の波数を計数するカウンタ回路7と、前記増幅回路5の出力から変位方向を判別し前記カウンタ回路7の加算と減算を切り換える信号を取り出す方向判別回路6と、前記カウンタ回路の計数値を記憶し前記振動変位を演算する演算処理回路8とからなる。
請求項（抜粋）：
半導体レーザを用いて振動する物体の変位を測定する半導体レーザデジタル振動変位計測装置であって、レーザ発振周波数が固定された半導体レーザと、前記半導体レーザに電流を供給する駆動回路と、前記半導体レーザの射出光を対象物の表面に照射し、その反射光の一部が戻り光として前記半導体レーザに結合するように配置された光学素子と、前記対象物の振動変位に関係して生ずる半導体レーザの出力の変化を検出する受光素子と、前記受光素子出力から信号成分を増幅する増幅回路と、該増幅回路の出力のドップラビート波の波数を計数するカウンタ回路と、前記増幅回路の出力から変位方向を判別し前記カウンタ回路の加算と減算を切り換える信号を取り出す方向判別回路と、前記カウンタ回路の計数値を記憶し前記振動変位を演算する演算処理回路とから構成したことを特徴とする半導体レーザデジタル振動変位計測装置。
引用特許：
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