特許
J-GLOBAL ID：200903070985599460
原料ガス供給方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-052547
公開番号（公開出願番号）：特開平7-236827
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 原料ガス取出口の圧力変動を制御して少なくとも2ヶ所以上の複数ユーザーに任意の時間に任意量の原料ガスの供給を互いに独立して供給する方法および装置を提供すること。【構成】 蒸発手段と、複数の原料ガス取出口を有する原料ガス取出部と、主調圧手段と、原料ガス凝縮手段とで構成した環流閉ル-プ回路内を蒸発手段で蒸発気化した原料ガスを循環させ、前記原料ガス取出部に設けた原料ガス取出口から少なくとも2ヶ所以上の複数ユーザーに任意の時間に任意量の原料ガスを互いに独立して供給する方法及び前記各手段が前記順序で環流閉ル-プ回路を形成している装置。
請求項（抜粋）：
原料ガスを複数のユーザーに精密に分配供給する方法において、蒸発手段と、原料ガス取出口を有する原料ガス取出部と、主調圧手段と、原料ガス凝縮手段とで構成した環流閉ル-プ回路に前記蒸発手段で蒸発気化した原料ガスを循環させ、回路外の少なくとも2ヶ所以上の複数ユーザーに任意の時間に任意量の原料ガスの供給を互いに独立に前記原料ガス取出部の原料ガス取出口から行うことを特徴とする原料ガス供給方法。
IPC (6件)：
B01J 7/00
, B01J 4/00 102
, F17D 1/04
, C03B 37/018
, C30B 25/14
, H01L 21/205
