特許
J-GLOBAL ID：200903070994048000
制御された環境密閉容器および機械インターフェイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-278370
公開番号（公開出願番号）：特開平6-268046
出願日： 1993年11月08日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 制御された環境の間をキャリアによってウエハを輸送することができるシステムおよび方法を提供する。【構成】 電子集積回路ウエハといった排気プロセスを伴う目的物のためのシステムは、(a)カセット中の真空状態の下でウエハを輸送するキャリア、このカセットはキャリアの底カバー部材として機能する移動可能な壁上に支持されている、(b)やはり真空状態の下に維持されているトランスファ・チャンバを持つ処理マシン、このトランスファ・チャンバは、その最も外側の位置でこのチャンバを密閉する昇降可能なステージの形で移動可能な壁を持つものを備えている。カセットがマシン上に装着されている時、移動可能な壁の間に伸びている、密閉されている小さなインターフェイス・チャンバがある。エレベータ・メカニズムによってカセットをトランスファ・チャンバ内へ下げる準備のため、排気ポンプはインターフェイス・チャンバを排気する。
請求項（抜粋）：
いずれのチャンバも大気(ambient air) によって汚染することなく、第1のチャンバの内容物を第2のチャンバへ移動し、両チャンバは移動可能な壁を持ち、前記第1のチャンバの移動可能な壁は前記内容物を支持する方法であって、(a)前記第1のチャンバの移動可能な前記壁を、前記第2のチャンバの移動可能な前記壁に最も近い位置に接触させて配置し、インターフェイス容積を二つの移動可能な壁の間に延ばし、(b)前記インターフェイス容積の前記内容物を、前記第1および第2のチャンバから分離された通路を通じて交換し、この前記内容物の交換は、(i)前記通路を通じて前記インターフェイス容積からガスを排気し、および(ii) 前記通路を通じて前記インターフェイス容器にガスで圧力をかけ、または、この(i)もしくは(ii) のいずれか一方によって行い、(c)前記第2のチャンバの移動可能な前記壁を前記第2のチャンバ内へ移動し、(d)前記第1のチャンバの移動可能な前記壁および前記第1のチャンバの前記内容物を前記第2のチャンバ内へ移動するステップを備えた方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00
, B65G 49/07
