特許

J-GLOBAL ID：200903070999743181

検査治具

発明者： 中村 清智 ,  岡野 達広 ,  角田 卓真 ,  関根 秀克
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-138839
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326378
出願日： 1998年05月20日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】 検査電極が脱落しないで、配線層との電気的接続信頼性の高い検査治具を提供することを目的とする。【解決手段】 絶縁基板13の片面に検査電極17が、もう一方の面に配線層18aが形成されており、検査電極17と配線層18aは検査電極17と同一の金属材料で構成されており、絶縁基板13上の配線層18aはクロム薄膜層14を介して形成されている。

請求項（抜粋）：

ポリイミド樹脂からなる絶縁基板の片面に検査電極が、もう一方の面に配線層が形成されており、前記検査電極と前記配線層は電気的に接続されてなる検査治具において、前記絶縁基板と前記配線層との間にはクロム薄膜層が形成されいるが、前記検査電極と前記配線層との間にはクロム薄膜層を介在させないで、前記検査電極と前記配線層が電気的に接続されていることを特徴とする検査治具。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66 ,  H05K 3/00

FI (4件)：

G01R 1/073 F ,  H01L 21/66 D ,  H01L 21/66 B ,  H05K 3/00 T