特許
J-GLOBAL ID：200903071000897043
マイクロマシンおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中尾 俊輔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-033213
公開番号（公開出願番号）：特開2002-239999
出願日： 2001年02月09日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：
【要約】【課題】 安価でかつ実用的な機械的強度を備えたマイクロマシンを提供すること。【解決手段】 支持体17を軟質で内部応力の小さい有機膜16により形成し、この支持体17により機能素子13を上方から支持することにより、反りや破損を生ずることがないようにしたもの。
請求項（抜粋）：
基板に保持されている支持体により機能素子を支持し、この機能素子の下方の前記基板に空洞部を形成したマイクロマシンであって、前記支持体を有機膜により形成し、前記支持体により前記機能素子を上方から支持したことを特徴とするマイクロマシン。
IPC (4件)：
B81B 3/00
, B81C 1/00
, G01J 1/02
, G01J 5/02
B81B 3/00
, B81C 1/00
, G01J 1/02 C
, G01J 5/02 J
2G065BA11
, 2G065DA20
, 2G066BA08
, 2G066BA55
