ポリッシング装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-256522
公開番号（公開出願番号）：特開平6-198561
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】トップリング本体がターンテーブル上面の動き(傾動)に滑らかに且つ迅速に追従でき、且つトップリング駆動軸の回転トルクが確実にトップリング本体に伝達されるポリッシング装置を提供する。【構成】各々独立した回転数で回転する上面に研磨布を張ったターンテーブル20とトップリング本体3とを有し、ターンテーブル20とトップリング本体3との間にポリッシング対象物6を介在させて研磨するポリッシング装置において、トップリング本体3を押圧するための押圧装置12に連結されるとともにトップリング本体3を回転駆動するための駆動装置13に連結されたトップリング駆動軸1を設け、トップリング駆動軸1とトップリング本体3との間に球ベアリング2を介装し、トップリング本体3の下面が滑らかにターンテーブル20の上面の動きに追従できるようにした。

請求項（抜粋）：

各々独立した回転数で回転する上面に研磨布を張ったターンテーブルとトップリング本体とを有し、前記ターンテーブルとトップリング本体との間にポリッシング対象物を介在させて所定の力で押圧することによって該ポリッシング対象物の表面を研磨し平坦且つ鏡面化するポリッシング装置において、前記トップリング本体を押圧するための押圧装置に連結されるとともに該トップリング本体を回転駆動するための駆動装置に連結されたトップリング駆動軸を設け、該トップリング駆動軸と前記トップリング本体との間に球ベアリングを介装し、前記トップリング本体下面が滑らかに前記ターンテーブル面の動きに追従できるようにしたことを特徴とするポリッシング装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 321

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭58-126063
特開平2-048170
特開平2-071544

全件表示

前のページに戻る