特許

J-GLOBAL ID：200903071011444466

ガス分析用の質量分析計

発明者： 平野 恭司
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-204015
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036282
出願日： 1998年07月17日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 イオン源のイオン化効率を高めて検出感度を上げると共に、ノイズを少なくすることができるガス分析用の質量分析計を提供する。【解決手段】 試料ガスSに電子ビーム6を照射してイオンを生成し、生成したイオンをイオン加速電極7と電極8によって形成される電界によって出射するイオン源2を有するガス分析用の質量分析計1において、前記イオン加速電極7の形状が生成したイオンを電極8に形成した孔8aに収束させるような電界を形成する凹型である。

請求項（抜粋）：

試料ガスに電子ビームを照射してイオンを生成し、生成したイオンをイオン加速電極と電極によって形成される電界によって出射するイオン源を有するガス分析用の質量分析計において、前記イオン加速電極の形状が生成したイオンを電極に形成した孔に収束させるような電界を形成する凹型であることを特徴とするガス分析用の質量分析計。

IPC (3件)：

H01J 49/14 ,  H01J 49/40 ,  G01N 27/62

FI (3件)：

H01J 49/14 ,  H01J 49/40 ,  G01N 27/62 E

Fターム (3件)：

5C038GG01 ,  5C038GH01 ,  5C038GH13