特許

J-GLOBAL ID：200903071016360023

光学的変位測定器

発明者： 岩本 正 ,  谷村 吉久
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (2件)： 吉田 研二 ,  石田 純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-078886
公開番号（公開出願番号）：特開2005-265616
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】新しい方法により、使いやすい光学的変位測定器を提供することである。【解決手段】対象物2の前方に円錐形状の対物レンズ4が配置される。対物レンズ4の後方から図示されていない光源よりの光6が対物レンズ4を通り、その円錐形状の界面で屈折して対象物2に入射される。対象物2の表面で反射された光は、対物レンズ4に戻され、その円錐形状の界面で再び曲げられ、元の光6に平行な光8となる。その光8は、対物レンズ4の中心光軸5からオフセットした平行光となる。このオフセットΔy1,Δy2は、対象物2の変位ΔXによって変化する。したがって、Δy1又はΔy2を測定して対象物2の変位ΔXを求めることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの光を、対物レンズを含む光学系を介して対象物に入射し、対象物からの反射光を検出部で検出して対物レンズと対象物との間の変位を測定する光学的変位測定器において、 対物レンズは、対象物に光を入射し、対象物からの反射光を再び受けて検出部に導く円錐形状のレンズであって、検出部における検出像の形状が対物レンズと対象物との間の変位に応じて変化することに基づいて対物レンズと対象物との間の変位を測定することを特徴とする光学的変位測定器。

IPC (1件)：

G01B11/00

FI (1件)：

G01B11/00 B

Fターム (20件)：

2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065BB01 ,  2F065FF01 ,  2F065FF42 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL00 ,  2F065LL10 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL36 ,  2F065LL46 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ03 ,  2F065UU07

引用特許：

出願人引用 (1件)

• オートフォーカス機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-184883   出願人：株式会社ミツトヨ