特許
J-GLOBAL ID：200903071021161080
欠陥検出光学系および表面欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-358769
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174415
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】検出感度の調整が容易で微少な凹凸欠陥を検出することができる欠陥検出光学系および検査装置を提供することにある。【解決手段】主走査方向に対して直角な方向に幅のある光ビームを照射して面板を相対的に走査する投光系と、直角な方向に配列され面板からの反射光を受光するn個(ただしnは2以上の整数)の受光素子を有する受光器を具え面板の走査位置の映像をn個の受光素子に結像する受光系と、この受光系に挿入され受光素子の受光面において実質的に中央部から右側と左側で隣接する受光素子において透過あるいは遮光の関係が逆になる縞パターンフィルタと、隣接受光素子の受光量の差に応じた検出信号を欠陥検出のための信号として発生する検出回路とを備えていて、欠陥のない場合における表面からの反射光が実質的に中央部に照射されるものである。
請求項（抜粋）：
面板の表面を光ビームにより走査し、前記光ビームによる前記表面からの反射光を受光器により受光してこの受光器が欠陥検出のための信号を発生する欠陥検出光学系において、主走査方向に対して直角な方向に幅のある前記光ビームを照射して前記面板を相対的に走査する投光系と、前記直角な方向に配列され前記面板からの反射光を受光するn個(ただしnは2以上の整数)の受光素子を有する前記受光器を具え前記面板の走査位置の映像を前記n個の受光素子に結像する受光系と、この受光系に挿入され前記受光素子の受光面において実質的に中央部から右側と左側で隣接する受光素子において透過あるいは遮光の関係が逆になる縞パターンフィルタと、前記隣接受光素子の受光量の差に応じた検出信号を欠陥検出のための信号として発生する検出回路とを備え、欠陥のない場合における前記表面からの反射光が実質的に前記中央部に照射されることを特徴とする欠陥検出光学系。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/95 A
, G11B 5/84 C
2G051AA71
, 2G051AB02
, 2G051AB07
, 2G051BA08
, 2G051BA10
, 2G051BA11
, 2G051BB09
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CC07
, 2G051DA07
, 2G051DA08
, 2G051EA03
, 2G051EA05
, 2G051EA08
, 2G051EA09
, 2G051EA14
, 2G051EB01
, 2G051EC01
, 2G051EC03
, 5D112AA24
, 5D112BA03
, 5D112GA19
, 5D112JJ05
, 5D112JJ09
