特許

J-GLOBAL ID：200903071026956897

回折格子、回折格子の製造方法、該回折格子を用いる露光方法、電子デバイス製造方法、電子デバイスおよび露光装置

発明者： 白石 直正
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-105375
公開番号（公開出願番号）：特開2006-284960
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【課題】 電子デバイスを構成する微細パターンの形成に使用して好適な露光方法であって高解像度かつ安価な露光方法を提供することを目的とする。【解決手段】 2つの回折格子を光路中に直列に、かつ電子デバイスを構成するウエハ等と2つの回折格子とが所定の間隔を持って配置し、回折格子により生じた干渉縞の明暗パターンを、ウエハ等に露光する。必要に応じて、半導体ウエハと該回折格子の位置関係を変更しつつ上記露光を行なう。上記回折格子は、透光性平板の表面近傍に、矩形形状の反射部材が所定の周期をもって複数配列されたものであって、その幅と高さの関係等を最適化する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

透光性平板の表面近傍の所定の基準面上に、前記基準面と平行な第2の方向に長手方向を有する矩形形状の第1の反射部材が、前記基準面に平行であって前記第2の方向と直交する第1の方向に第1の周期をもって複数配列されるとともに、 前記第1の周期をAとし、前記第1の反射部材の前記第1の方向の幅をB、前記第1の反射部材の前記基準面の法線方向の高さをC、前記透光性平板の厚さをDとするとき、 1 ≦ C/B ≦ 100 、 0.5 ≦ (A-B)/C ≦ 25 及び 0 < C/D < 0.001 の関係を満たすことを特徴とする回折格子。

IPC (3件)：

G02B 5/18 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B5/18 ,  G03F7/20 505 ,  H01L21/30 528 ,  H01L21/30 515D

Fターム (10件)：

2H049AA07 ,  2H049AA13 ,  2H049AA37 ,  2H049AA45 ,  2H049AA55 ,  2H049AA64 ,  2H097AA20 ,  2H097LA10 ,  5F046BA08 ,  5F046CB27