特許

J-GLOBAL ID：200903071027427022

露光装置

発明者： 上野 和夫 ,  持田 省郎 ,  足立 收
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118860
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310860
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】 映像管の生産性を向上することができる露光装置を提供する。【解決手段】 映像管6の露光装置において、光路に介装された光学インテグレータ3の形状を露光光入射端断面積が大きく、出射端面積が小さいテーパー形状に形成したため、よって従来より多量の光を取り込むことができ、被露光面の照度を十分大きくすることができ、よって露光時間を短縮することができ、映像管の生産性を向上することができる。

請求項（抜粋）：

光源が発する光を、一端に受け入れて積分し他端から出射する光学インテグレータと、光学インテグレータの他端から出射する照明光束を被露光面の全域に投影する投影レンズ系を介して、前記記被露光面に投影する露光装置において、前記光学インテグレータを、露光光入射端の断面積が出射端の断面積より大きいテーパー状に形成した露光装置。

Fターム (6件)：

2H097CA06 ,  2H097EA01 ,  2H097EA03 ,  2H097GB03 ,  2H097LA11 ,  2H097LA17