特許
J-GLOBAL ID:200903071027453988
金属表面から酸化物を除去する方法及び装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
曾我 道照 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-068783
公開番号(公開出願番号):特開平11-269683
出願日: 1998年03月18日
公開日(公表日): 1999年10月05日
要約:
【要約】【課題】 この発明は、レーザビームを用いて金属表面から酸化物を完全に除去する方法及び装置を提供することを課題とする。【解決手段】 パルス放射ビーム20は発散球面レンズ22により発散してビーム24となり、第1のシリンドリカルレンズ26によって鉛直なX方向48に平行なビーム28となり、さらに第2のシリンドリカルレンズ30を通って水平なY方向50に平行なビーム32になった後、第3のシリンドリカルレンズ34を通って入射ビ-ム36となり、矢印42の方向に移動する金属ストリップ40の酸化物で覆われた表面44を横切るように投影される直線38上に集光される。入射ビ-ム36は、ストリップの表面44を掃除して酸化物のない表面46を形成する。
請求項(抜粋):
非常に短いパルス幅と、非常に高い周波数と、非常に高い平均出力とを有する電磁放射ビームを生成するレーザを使用し、放射ビームを生成し、放射ビームを少なくとも一つの光学部材に通して金属表面に接する点で少なくとも約5MW/cm2の表面出力密度を有する入射ビームに集光し、集光された放射ビームを酸化物で覆われた金属の表面を完全に横切るように照射して一つ以上のレーザパルスによる蒸発によって酸化物を除去し、酸化物のない表面を形成することを特徴とする金属表面から酸化物を除去する方法。
IPC (4件):
C23G 5/00
, B23K 26/00
, C23F 4/02
, B08B 7/00
FI (4件):
C23G 5/00
, B23K 26/00 E
, C23F 4/02
, B08B 7/00
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