特許

J-GLOBAL ID：200903071031121817

反射防止膜

発明者： 渡邊 正 ,  出口 武司 ,  川俣 健
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-057545
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249201
出願日： 2000年03月02日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】 可視波長領域の全体にわたって反射率が低く、可視波長領域の全体にわたって光のP成分、S成分に差が小さな反射防止膜とする。【解決手段】 基板側から1,3,5層目がSiOx(x=略2)を主成分とする材料、2,4層目は屈折率nhが1.9≦nh≦2.4である材料であり、各層の光学的膜厚ndi(i=基板側から1,2,3,4,5)が、設計波長λ(λ=500〜550nm)に対して、基材側から1層目が0.6λ≧nd1≧0.3λ,2層目が0.12λ≧nd2≧0.05λ,3層目が0.10λ≧nd3≧0.04λ、4層目が0.5λ≧nd4≧0.3λ、5層目が0.28λ≧nd5≧0.25λとする。

請求項（抜粋）：

基板上に積層された5層の反射防止膜であって、基板側から1,3,5層目がSiOx(x=略2)を主成分とする材料、2,4層目は屈折率nhが1.9≦nh≦2.4である材料であり、各層の光学的膜厚ndi(i=基板側から1,2,3,4,5)が、設計波長λ(λ=500〜550nm)に対して、基材側から1層目が0.6λ≧nd1≧0.3λ,2層目が0.12λ≧nd2≧0.05λ,3層目が0.10λ≧nd3≧0.04λ、4層目が0.5λ≧nd4≧0.3λ、5層目が0.28λ≧nd5≧0.25λであることを特徴とする反射防止膜。

IPC (3件)：

G02B 1/11 ,  C23C 14/06 ,  B32B 7/02 103

FI (3件)：

C23C 14/06 P ,  B32B 7/02 103 ,  G02B 1/10 A

Fターム (43件)：

2K009AA08 ,  2K009BB11 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009DD03 ,  4F100AA20A ,  4F100AA20C ,  4F100AA20E ,  4F100AK01E ,  4F100AR00A ,  4F100AR00B ,  4F100AR00C ,  4F100AR00D ,  4F100AR00E ,  4F100AT00E ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10E ,  4F100BA13 ,  4F100GB90 ,  4F100JA20A ,  4F100JA20B ,  4F100JA20C ,  4F100JA20D ,  4F100JA20E ,  4F100JN18B ,  4F100JN18D ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4F100YY00D ,  4F100YY00E ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BA48 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB10 ,  4K029DB21