特許

J-GLOBAL ID：200903071036184671

基板搬送方法及び基板搬送装置

発明者： 窪田 泰仁 ,  白数 廣 ,  楢木 剛
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-011818
公開番号（公開出願番号）：特開平10-194450
出願日： 1997年01月06日
公開日（公表日）： 1998年07月28日
要約：

【要約】【課題】 処理装置の変動に起因して基板保持部の位置が変化しても基板の受け渡しが適正に行われるようにする。【解決手段】 ガラス基板搬送装置10は、ガラス基板32を吸着保持する搬送アーム26を6自由度に姿勢を変えて搬送させる。その搬送されたガラス基板32を露光処理する露光装置40は、防振台48上に定盤46及びその上にガイド49が配置され、そのガイド49上を露光用ステージ42が捜査方向に移動可能とされている。そして、露光装置40の定盤46には、6自由度の姿勢変化を計測する変位センサ34a〜34c、36a〜36cが配置されている。コントローラ38は、変位センサの変位量に基づいてガラス基板搬送装置10の搬送位置をフィードバック制御しながら補正することにより、ガラス基板32の受け渡しを適正に行うことができる。

請求項（抜粋）：

基板に処理を施す処理装置の基板保持部に前記基板を搬送する基板搬送方法であって、前記処理装置の変動に起因した前記基板保持部の位置変化を検出する工程と;前記基板保持部の位置変化に応じて、前記基板の搬送位置を補正する工程と;を含むことを特徴とする基板搬送方法。

IPC (3件)：

B65G 49/07 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B65G 49/07 C ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 J