特許
J-GLOBAL ID：200903071047782570
微小静電容量の測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-004171
公開番号（公開出願番号）：特開平8-194025
出願日： 1995年01月13日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 スイッチド・キャパシタ・フイルタ回路を利用した従来のLC発振回路より精度の高い、微小静電容量の測定方法を提供する。【構成】 微小静電容量に、所定周波数の所定電圧を、所定の周期で印加し、この微小静電容量の電圧を、OPアンプと、その反転端子と出力端子間に設けたコンデンサにより積分し、この積分値から微小静電容量を求める。
請求項（抜粋）：
微小静電容量に、所定周波数の所定電圧を、所定の周期で印加し、この微小静電容量の電圧を、OPアンプと、その反転端子と出力端子間に設けたコンデンサにより積分し、この積分値から微小静電容量を求めることを特徴とする微小静電容量の測定方法。
引用特許：
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