特許
J-GLOBAL ID：200903071064883470
プリント基板の固定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-070385
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283599
出願日： 1994年04月08日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 プリント基板の固定状態の判断を2段階にしてトラブル発生を防止する。【構成】 ワークテーブル1上に載置されたプリント基板6を真空圧によって固定する装置であり、エアー経路のエアー圧力は圧力センサ8によって検出され、その検出値Cは比較回路13に出力可能である。比較回路には減圧開始直後においてプリント基板が固定されたか否かの判断基準となる第1の圧力のデータAおよびタイマ回路12によって指定されたタイミングにおいてプリント基板を確実に固定したか否かの判断基準となる第2の圧力のデータBをそれぞれプリセット値として設定してある。比較回路13は、減圧開始直後および所定時間経過後におけるタイミングでそれぞれのプリセット値A,Bと検出値Cとを比較し、この比較結果を受けてプリント基板の固定状態を2段階で判断して、加工手段の一例であるワイヤボンダー9を制御する。
請求項（抜粋）：
加工すべきプリント基板を載置可能に設けてあるワークテーブルと、上記ワークテーブルに設けてあり上記プリント基板吸着用の開口部を有するエアー経路と、上記エアー経路に接続してある減圧手段と、上記エアー経路内のエアー圧力を検出する圧力センサと、上記圧力センサによって検出された検出値と予め設定してあるプリセット値とを比較する比較回路と、上記比較回路によって比較した結果を受けて上記プリント基板の加工手段を制御する制御回路と、上記制御回路に上記比較回路の作動時刻を出力するタイマ回路とを備え、上記プリセット値は、減圧開始直後において上記プリント基板が上記ワークテーブル上に固定されたか否かの判断をするための第1の圧力と、減圧開始から所定時間経過後において上記プリント基板が良好な状態で上記ワークテーブルに吸着されているか否かを判断するための第2の圧力であることを特徴とするプリント基板の固定装置。
IPC (3件)：
H05K 13/04
, H01L 21/60 301
, H05K 13/08
