特許

J-GLOBAL ID：200903071066640361

圧電体薄膜素子およびそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドならびにインクジェット記録装置

発明者： 松原 正吾 ,  原 慎太郎 ,  鎌田 健
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-321369
公開番号（公開出願番号）：特開2004-128492
出願日： 2003年09月12日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】誘電体薄膜素子において、誘電体薄膜の内部応力を緩和する。【解決手段】基板21と、基板21上に形成された第1の電極22と、第1の電極22上に形成された誘電体薄膜10と、誘電体薄膜10上に形成された第2の電極3を備えた誘電体薄膜素子16であって、誘電体薄膜10は、圧電性を有する圧電層10aと、第1の電極22および第2の電極3と電気的に絶縁され、圧電層10aよりもヤング率の小さな応力緩和層10bとを有する構成とする。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成された第1の電極と、前記第1の電極上に形成された誘電体薄膜と、前記誘電体薄膜上に形成された第2の電極を備えた圧電体薄膜素子であって、 前記誘電体薄膜は、 圧電性を有する圧電層と、 前記第1の電極および前記第2の電極と電気的に絶縁され、前記圧電層よりもヤング率の小さな応力緩和層とを有することを特徴とする圧電体薄膜素子。

IPC (9件)：

H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24

FI (12件)：

H01L41/08 C ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 D ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

Fターム (8件)：

2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AG47 ,  2C057AN01 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14