特許
J-GLOBAL ID：200903071067655699
基板移載方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-341895
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169819
出願日： 1993年12月13日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】半導体製造装置等に於ける基板移載に於いて、ハンドリングの確実性を向上させ、装置の稼働率、スループットの向上を図る。【構成】基板移載動作中のチャッキングプレート17を上昇させて基板12を把持する場合に、把持が適正でないと適正となる迄把持動作を所要回数繰返し、把持動作を繰返すことで、微妙な状態にある基板を確実に把持する。
請求項（抜粋）：
基板移載動作に於いて、チャッキングプレートを上昇させて基板を把持する場合に、把持が適正でないと適正となる迄把持動作を所要回数繰返すことを特徴とする基板移載方法。
IPC (6件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 545
, B65G 1/04 541
, B65G 49/07
, H01L 21/22 511
, H01L 21/306
