特許

J-GLOBAL ID：200903071085110861

希ガスの高収率回収精製方法及び希ガスの高収率回収精製装置

発明者： 水野 全 ,  荻野 博
出願人/特許権者： 東洋酸素株式会社
代理人 (1件)： 細井 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-356925
公開番号（公開出願番号）：特開平6-182133
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：

【要約】【目的】 常に一定の製品純度の希ガスが得られ、希ガスの回収率が高く、且つ操作が簡単な希ガスの高収率回収精製方法と希ガスの回収を簡単な操作で確実に行うことができ、装置自体のコストの安価な希ガスの高収率回収精製装置を提供する。【構成】 原料ガス圧縮機4、吸着塔2、3、真空ポンプ5、バッファタンク6、MFC7からなるPSA装置に、ガスバック1、原料ガス中のヘリウム濃度を測定するための酸素濃度計8、製品ヘリウムの濃度を測定するための酸素濃度計9、MFC7を制御するための調節計10を設け、酸素濃度計8,9、や調節計10の情報を受けて装置全体の運転を制御するシークエンサー11からなる装置を用い、製品ガスのヘリウム濃度を常時測定し該ヘリウム濃度に応じて常時製品ガスの流量を調節し、原料ガス中のヘリウム濃度を常時測定し該ヘリウム濃度に応じてガス流量の変化速度を変えてガス流量の調節を行い、且つPSA装置の排気ガスを原料ガスに混合しながら希ガスの回収精製を行う。

請求項（抜粋）：

圧力揺動吸着分離装置を用いて希ガスを含む原料ガスから希ガスを回収し精製する方法において、製品希ガスの取り出し側の希ガス濃度を常時測定し、上記希ガス濃度が一定になるようにガス流量を上記希ガス濃度に応じて常時調節し、且つ圧力揺動吸着分離装置の排気ガスを原料ガスに混合しリサイクルしながら希ガスを回収することを特徴とする希ガスの高収率回収精製方法。

IPC (3件)：

B01D 53/04 ,  B01D 53/30 ,  C01B 23/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-293512
  
• 特開昭64-051119
  
• 特開昭63-239105