特許
J-GLOBAL ID：200903071086791200
インクジェットヘッド及びその製造方法
発明者：
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050085
公開番号（公開出願番号）：特開平11-314366
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、金属や樹脂で構成される振動板上に圧電素子を薄膜形成法を用いて低温で合成し、ノズル間のインク速度及び吐出インク量の差を無くし、印字品質の優れた高密度のインクジェットヘッドを提供することを課題とする。【解決手段】 隔壁によって仕切られた複数の圧力室の一面を封止する振動板をニッケルなどの金属で構成し、かつ該振動板の表面にはニッケル-(5-20%)リンめっきを形成し、これらの振動板上に水熱合成法などの低温薄膜合成法を用いて圧電素子膜を形成する。
請求項（抜粋）：
隔壁によって仕切られた複数の圧力室と、これらの圧力室の一面を封止する振動板と、該振動板の外側に前記圧力室毎に対応して配置されるチタン膜と、該チタン膜に密着して積層される複数の圧電素子膜と、これらの膜を挟み込むように配置した複数の上部電極とを備え、各々の圧力室に連通するインク吐出ノズルとインク供給孔から構成されるインクジェットヘッドにおいて、前記振動板が、チタン、ニッケルなどの金属または樹脂で構成され、かつ該振動板の表面にはニッケル-(5-20%)リンめっきが形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
