特許

J-GLOBAL ID：200903071097821046

FIB/EB複合装置

発明者： 笠原 春生
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-118856
公開番号（公開出願番号）：特開平5-314941
出願日： 1992年05月12日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】 EBカラム内の汚染を防止し、分解能の高い像観察を可能とするFIB/EB複合装置を実現する。【構成】 EBカラム4の対物レンズ10の開口から入り込む試料粒子Pを阻止するため、シャッター15が設けられている。このシャッター15は回転軸16によって回転させられ、試料1に試料を削るためにFIBが照射されている間、図3に示したように回転軸が回転され、対物レンズ10の開口14の前面にシャッター15が配置される。その結果、試料1からスパッタされた粒子Pの内、開口14方向に向かう粒子は、シャッター15に衝突し、開口14に入り込んでEBカラム4内を汚染することは防止される。

請求項（抜粋）：

試料室上に集束イオンビーム光学系カラムと電子ビーム光学系カラムを設け、イオンビームで試料を切削し、切削した試料部分で電子ビームを走査し、その走査に基づいて得られた信号により走査像を得るようにしたFIB/EB複合装置において、電子ビーム光学系カラムの先端の開口部を開閉するシャッターを設けたことを特徴とするFIB/EB複合装置。

IPC (5件)：

H01J 37/28 ,  G21K 5/00 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/31 ,  H01L 21/66