特許
J-GLOBAL ID:200903071100684624

配線パターン検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-265890
公開番号(公開出願番号):特開平6-018432
出願日: 1991年10月15日
公開日(公表日): 1994年01月25日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 スケルトン画像を縮退処理により端点を孤立点になるまで詰めることにより銅残り(またはピンホール)と断線とを区別するパターン検査装置を実現すること。【構成】 プリント基板101上に形成された配線パターンをCCDカメラ102で入力し、2値化手段103で濃淡画像を2値画像に変換し、 配線パターンの背景側から1画素づづ任意画素細める細線化処理を細線化手段104で施し、縮退手段105でスケルトン画像の端点を孤立点になるまで任意画素縮退すると共に欠陥検出手段106で縮退画像から孤立点を検出することにより他の欠陥と区別して検出する。
請求項(抜粋):
プリント基板上に形成された配線パターンを光電変換する画像入力手段と、前記画像入力手段からの濃淡画像を2値画像に変換する2値化手段と、 配線パターンの背景側から任意画素細線化する細線化手段と、前記細線化手段からの細線化画像を任意画素の縮退により孤立点とする縮退手段と、前記縮退手段からの縮退画像から孤立点を検出する欠陥検出手段とを具備した配線パターン検査装置。
IPC (5件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G06F 15/62 ,  H04N 7/18 ,  H05K 3/00
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平3-189782
  • 特開昭63-280379
  • 特開平3-048707
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