ポジ型感放射線性組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-372542
公開番号（公開出願番号）：特開2002-174902
出願日： 2000年12月07日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】サブクォーターミクロンのパターン加工が可能な解像度を持ち、高感度なポジ型感放射線性組成物を得る。【解決手段】a)一般式(1)で示される構造単位の化合物およびイタコン酸無水物とを含有する重合体、b)放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(式中、Xは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素、またはシアノ基のいずれかを表し、R1、R2、R3は炭素数1から6のアルキル基、炭素数6から15のアリール基、炭素数7から16のアラルキル基、または-(CH2)n-COOR4(n=0〜6)を表し、R4は炭素数1から6のアルキル基、炭素数6から15のアリール基、または炭素数7から16のアラルキル基を表す。ただし、R1、R2、R3のうち少なくとも1つはアリール基またはアラルキル基であり、R1、R2、R3がメチル基、メチル基、フェニル基の組み合わせであるものは除く。)

請求項（抜粋）：

a)一般式(1)で示される構造単位の化合物およびイタコン酸無水物とを含有する重合体、b)放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(式中、Xは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素、またはシアノ基のいずれかを表し、R1、R2、R3は炭素数1から6のアルキル基、炭素数6から15のアリール基、炭素数7から16のアラルキル基、または-(CH2)n-COOR4(n=0〜6)を表し、R4は炭素数1から6のアルキル基、炭素数6から15のアリール基、または炭素数7から16のアラルキル基を表す。ただし、R1、R2、R3のうち少なくとも1つはアリール基またはアラルキル基であり、R1、R2、R3がメチル基、メチル基、フェニル基の組み合わせであるものは除く。)

IPC (8件)：

G03F 7/039 601 , C08F220/10 , C08F222/04 , C08F222/32 , C08K 5/00 , C08L 33/00 , C08L 35/00 , H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/039 601 , C08F220/10 , C08F222/04 , C08F222/32 , C08K 5/00 , C08L 33/00 , C08L 35/00 , H01L 21/30 502 R

Fターム (55件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BF08 , 2H025BG00 , 2H025CB10 , 2H025CB41 , 2H025CB55 , 2H025CB59 , 4J002BG051 , 4J002BG061 , 4J002BG071 , 4J002BG081 , 4J002BH021 , 4J002EN136 , 4J002EV296 , 4J002EW176 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J100AB02R , 4J100AB03R , 4J100AB07R , 4J100AJ01R , 4J100AJ02R , 4J100AJ09R , 4J100AK31Q , 4J100AK32R , 4J100AL01P , 4J100AL03R , 4J100AL08P , 4J100AL24P , 4J100AL24R , 4J100AM01R , 4J100AM02R , 4J100AM05P , 4J100AM05R , 4J100AQ05R , 4J100AQ08R , 4J100BA03R , 4J100BA20P , 4J100BA29R , 4J100BB01R , 4J100BC43P , 4J100BC73R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100DA25 , 4J100JA37

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