特許

J-GLOBAL ID：200903071102740106

誘電体薄膜素子用電極、並びにその製造方法とそれを用いた誘電体薄膜素子

発明者： 松野 繁 ,  佐藤 剛彦 ,  山田 朗 ,  内川 英興
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-149505
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332704
出願日： 2000年05月22日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 下地材への密着性が向上した誘電体薄膜素子用電極を得る。【解決手段】 誘電体薄膜素子用電極7は、金属層71上に金属層71の金属元素と、誘電体薄膜4の構成元素の少なくとも一種とを主成分とする導電性酸化物からなる導電性酸化物層72を設けた積層構造で、誘電体薄膜4に接する面が導電性酸化物層72で、その膜厚方向で例えば上記元素の組成比を変化させることにより、組成を変化させたものである。

請求項（抜粋）：

誘電体薄膜を挟持する電極であり、金属層、およびこの金属層の上記誘電体薄膜側に設け、上記金属層の構成元素と、上記誘電体薄膜の構成元素の少なくとも一種とを主組成とし、この組成が膜厚方向で変化する導電性酸化物層を備えた誘電体薄膜素子用電極。

IPC (5件)：

H01L 27/10 451 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242

FI (3件)：

H01L 27/10 451 ,  H01L 27/04 C ,  H01L 27/10 651

Fターム (17件)：

5F038AC05 ,  5F038AC15 ,  5F038AC17 ,  5F038EZ14 ,  5F038EZ17 ,  5F038EZ20 ,  5F083FR02 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA38 ,  5F083JA40 ,  5F083JA43 ,  5F083MA06 ,  5F083MA17 ,  5F083PR21 ,  5F083PR22 ,  5F083PR34