特許

J-GLOBAL ID：200903071108870117

感光性樹脂のパターン形成方法

発明者： 中川 喜之
出願人/特許権者： シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-177006
公開番号（公開出願番号）：特開平11-024286
出願日： 1997年07月02日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 ポジ型感光性樹脂12を基板11上に塗布する工程と、ポジ型感光性樹脂12が塗布された基板の全面を露光する工程と、さらに、該感光性樹脂12が塗布された基板11上に、再度、ポジ型感光性樹脂13を塗布する工程と2重に感光性樹脂が塗布された基板11を加熱処理する工程と所定のフォトマスク14を用いて露光する工程とアルカリ性水溶液により現像処理を行う工程とを備える。【解決手段】 逆テーパ形状の高耐熱性ポジ型感光性樹脂パターンが得られるので、加熱した基板上に金属膜等を成膜した場合、成膜された金属膜と感光性樹脂の壁が接触することがなく、容易にリフトオフが行なうことができ、密着性の高い金属膜等のパターンが得られる。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂を基板上に塗布する工程と、感光性樹脂が塗布された基板の全面を露光する工程と、さらに、該感光性樹脂が塗布された基板上に、再度、感光性樹脂を塗布する工程と、2重に感光性樹脂が塗布された基板を加熱処理する工程と、所定のフォトマスクを用いて露光する工程と、アルカリ性水溶液により現像処理を行う工程とを有することを特徴とする感光性樹脂のパターン形成方法。

IPC (6件)：

G03F 7/38 501 ,  G03F 7/26 513 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/306

FI (6件)：

G03F 7/38 501 ,  G03F 7/26 513 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/30 576 ,  H01L 21/306 N