特許

J-GLOBAL ID：200903071116363860

XYステージ

発明者： 津戸 宏之 ,  塩貝 達也 ,  武井 義文 ,  原田 保 ,  青木 一郎
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-176626
公開番号（公開出願番号）：特開2001-358178
出願日： 2000年06月13日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】 ステージをスムーズに早く駆動させることができ、また、正確に停止することもできるXYステージを提供すること。【解決手段】 レールを具備したXYステージであって、そのレールが、摺動部がステンレスで覆われたアルミニウムまたはアルミニウム合金をマトリックスとし、セラミックスを強化材とする金属-セラミックス複合材料からなることとしたXYステージ。

請求項（抜粋）：

レールを具備したXYステージであって、そのレールが、摺動部がステンレスで覆われたアルミニウムまたはアルミニウム合金をマトリックスとし、セラミックスを強化材とする金属-セラミックス複合材料からなることを特徴とするXYステージ。

IPC (3件)：

H01L 21/60 311 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/60 311 T ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (10件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB12 ,  2F078CC19 ,  5F044PP03 ,  5F044PP04 ,  5F044PP13 ,  5F044PP17 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18