DLC膜コーティングプラスチック容器の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：今下勝博 , 岡田賢治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-336026
公開番号（公開出願番号）：特開2004-168359
出願日： 2002年11月20日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】本発明はホット充填を行ってもガスバリア性が劣化しない2層構造のDLC膜をコーティングしたプラスチック容器を簡易に且つ短時間に製造する方法を提供する。【解決手段】本発明に係る製造方法は、プラスチック容器内部を設定到達圧力まで排気する真空排気工程、排気を継続しながら容器内部に原料ガスをガス流量制御手段にて一定流量供給開始し、容器の内圧を設定成膜圧力以上に上昇させてさらに排気の継続に伴い設定成膜圧力まで再び減圧させる間に一定出力のプラズマ発生用エネルギーを供給して原料ガスをプラズマ化させて容器内表面に水素原子高含有で傾斜組成のDLC膜を第1層として形成する第1層成膜工程、原料ガスをプラズマ化させたままの状態で設定成膜圧力を保持しながら第1層上に水素原子低含有で一定組成のDLC膜を第2層として形成する第2層成膜工程、とを有することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラスチック容器の内部を設定到達圧力まで排気する真空排気工程、排気を継続しながら前記プラスチック容器の内部に炭素源ガスを含む原料ガスをガス流量制御手段にて一定流量供給開始し、前記プラスチック容器の内圧を設定成膜圧力以上に上昇させてさらに排気の継続に伴い前記設定成膜圧力まで再び減圧させる間に一定出力のプラズマ発生用エネルギーを供給して前記プラスチック容器の内部の前記原料ガスをプラズマ化させて前記プラスチック容器の内表面に水素原子高含有で傾斜組成のDLC膜を第1層として形成する第1層成膜工程、前記原料ガスをプラズマ化させたままの状態で前記設定成膜圧力を保持しながら前記第1層上に水素原子低含有で一定組成のDLC膜を第2層として形成する第2層成膜工程、とを有することを特徴とするDLC膜コーティングプラスチック容器の製造方法。

IPC (6件)：

B65D23/02 , B32B1/02 , B32B9/00 , B32B31/06 , C08J7/06 , C23C16/27

FI (6件)：

B65D23/02 Z , B32B1/02 , B32B9/00 A , B32B31/06 , C08J7/06 Z , C23C16/27

Fターム (48件)：

3E062AA09 , 3E062AB02 , 3E062AC02 , 3E062JA01 , 3E062JA07 , 3E062JB22 , 3E062JC01 , 3E062JD01 , 4F006AA12 , 4F006AA13 , 4F006AA14 , 4F006AA15 , 4F006AA16 , 4F006AA17 , 4F006AA18 , 4F006AA22 , 4F006AA35 , 4F006AA36 , 4F006AA38 , 4F006AA39 , 4F006AB72 , 4F006BA05 , 4F006CA07 , 4F006DA01 , 4F006EA03 , 4F100AA37B , 4F100AA37C , 4F100AK42 , 4F100AT00A , 4F100BA03 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100DA01 , 4F100EJ242 , 4F100EJ612 , 4F100EK172 , 4F100GB16 , 4F100JD02 , 4F100JM02B , 4F100JM02C , 4K030AA09 , 4K030AA17 , 4K030BA28 , 4K030BB13 , 4K030CA07 , 4K030CA15 , 4K030FA03 , 4K030JA09

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