特許

J-GLOBAL ID：200903071128455876

固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法および撮像装置

発明者： 阿部 秀司
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-250170
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087674
出願日： 1997年09月16日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】 入射光の基板表面における反射成分や斜め光成分のセンサ部への集光効率を高めて感度を向上させ、画素サイズに微細化を図る。【解決手段】 基体2上にライン状の転送電極5が間隔をあけて配列され、基体2の転送電極5のライン間に光電変換をなす島状のセンサ部6が形成され、転送電極5を覆いかつセンサ部6の直上位置を開口してこのセンサ部6以外への光Rの入射を遮断する第1遮光膜8、第2遮光膜9からなる遮光膜10が基体2上に形成され、遮光膜10の上方にセンサ部6への光Rを集光するオンチップレンズ12が設けられてなるCCD固体撮像素子1において、第1遮光膜8の側面8bの下端部に下張り出し部81が設けられ、第2遮光膜9の側面9aの上端部に上張り出し部91が設けられ、オンチップレンズ12の焦点Pがセンサ部6の直上にて上張り出し部91の先端部91aと略等しい高さ位置に設けられている。

請求項（抜粋）：

基体上に間隔をあけて配列されたライン状の転送電極と、前記基体の前記転送電極のライン間に形成された光電変換をなす島状のセンサ部と、前記転送電極を覆って前記基体上に形成されるとともに前記センサ部の直上位置を開口した状態で形成されて該センサ部以外への光の入射を遮断する遮光膜と、前記遮光膜の上方に設けられて前記センサ部への入射光を集光するレンズとを備えた固体撮像素子において、前記遮光膜は、その前記センサ部の直上位置にて開口した側の面である側面の上端部および下端部のそれぞれに、該側面の位置から前記センサ部の略中心に向けて張り出した張り出し部が設けられ、前記レンズは、その焦点が前記センサ部の直上にて前記遮光膜が開口した位置で、前記上端部に設けられた張り出し部の先端部と略等しい高さ位置に設けられるように形成されていることを特徴とする固体撮像素子。