特許
J-GLOBAL ID：200903071137914999
ポジ型感放射線性樹脂組成物およびネガ型感放射線性樹脂組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-326118
公開番号（公開出願番号）：特開2008-181107
出願日： 2007年12月18日
公開日（公表日）： 2008年08月07日
要約：
【課題】感度、解像度、パターン疎密度への依存性、表面平滑性に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、SO2に隣接したフッ素原子を含むノルボルナン構造を有する酸発生剤と樹脂成分とを含有し、樹脂成分は、ポジ型では、ヒドロキシスチレンとt-ブトキシスチレンとの共重合体に代表される樹脂(B1)または(メタ)アクリル酸アダマンチルおよび/または(メタ)アクリル酸5-オキソ-4-オキサトリシクロノニルと(メタ)アクリル酸t-ブチルとの共重合体に代表される樹脂(B2)から選ばれ、ネガ型では、ヒドロキシスチレン、(メタ)アクリル酸ないしマレイン酸の1種以上を必須成分とする(共)重合体に代表される樹脂と架橋剤とを含有する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)感放射線性酸発生剤並びに(B)酸解離性基を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ易溶性となる樹脂とを含有し、かつ(A)成分が下記一般式(1)または下記一般式(2)で表される構造を1つ以上有する化合物からなり、(B)成分が下記一般式(42)で表される繰り返し単位および該繰返し単位中のフェノール性水酸基を酸解離性基で保護した繰り返し単位のみからなる樹脂(B1)、並びに下記一般式(43)または下記一般式(44)で表される繰り返し単位の1種以上および下記一般式(45)で表される繰り返し単位のみからなる樹脂(B2)の群から選ばれることを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/039
, C07C 403/12
, C07C 69/96
, C07C 309/19
, G03F 7/038
, G03F 7/004
G03F7/039 601
, C07C403/12
, C07C69/96 Z
, C07C309/19
, G03F7/038 601
, G03F7/004 503A
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BF02
, 2H025BF29
, 2H025BG00
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 4H006AA01
, 4H006AA03
, 4H006AB76
