特許

J-GLOBAL ID：200903071156833606

搬送装置における2軸出力エンコーダの配置

発明者： 森 弘樹 ,  渡邉 徹也 ,  奥野 長平 ,  前川 高弘
出願人/特許権者： 帝人製機株式会社
代理人 (1件)： 三中 英治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-280763
公開番号（公開出願番号）：特開2002-096285
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】【課題】 構成の簡易な搬送装置における2軸出力エンコーダの配置を提供する。【解決手段】 内軸21Bと中空状の外軸21Aとの同軸2軸の出力軸をもって、各出力軸に接続され独立して駆動させる駆動モータ70A、70Bによって搬送物を搬送する搬送装置において、内軸21Bと外軸21Aの間および外軸21Aと円筒ハウジング62の間に軸シール63が介在しており、駆動モータ70A、70Bおよび外接軸20A、20Bと中間軸30A、30Bと内接円筒40A、40Bとからなり駆動モータ70A、70Bの回転を減速するトラクションドライブ減速機が大気側に配置され、内軸21Bの位置検出器67B、69Bが減速機を貫通して、外軸21Aの位置検出装置67A、69Aが軸シール63と減速機70A、70Bとの間に配置されて大気側に設けられている。

請求項（抜粋）：

内軸と中空状の外軸との同軸2軸の出力軸をもって、各出力軸に接続され独立して駆動させる駆動モータによって搬送物を搬送する搬送装置において、内軸と外軸の間および外軸と円筒ハウジングの間に軸シールが介在しており、駆動モータおよび外接軸と中間軸と内接円筒とからなり駆動モータの回転を減速するトラクションドライブ減速機が大気側に配置され、内軸の位置検出器が減速機を貫通して、外軸の位置検出装置が軸シールと減速機との間に配置されて大気側に設けられていることを特徴とする搬送装置における2軸出力エンコーダの配置。

IPC (2件)：

B25J 17/00 ,  F16H 13/00

FI (2件)：

B25J 17/00 E ,  F16H 13/00

Fターム (13件)：

3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060AA09 ,  3F060BA06 ,  3F060EB12 ,  3F060GB00 ,  3F060GC01 ,  3F060GC03 ,  3F060GD07 ,  3F060GD14 ,  3J051ED11 ,  3J051FA10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 基板搬送装置及び半導体製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-129998   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立画像情報システム
• 搬送装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平6-523409   出願人：ブルックスオートメーションインコーポレイテッド
• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-003918   出願人：新明和工業株式会社
• トラクションドライブ減速機を用いた搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-251607   出願人：帝人製機株式会社