特許
J-GLOBAL ID:200903071158461552

超音波センサ、超音波センシング装置および超音波流量計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 篠部 正治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-160388
公開番号(公開出願番号):特開2000-346685
出願日: 1999年06月08日
公開日(公表日): 2000年12月15日
要約:
【要約】【課題】送受信兼用の一体化された高感度な超音波センサ、超音波センシング装置および超音波流量計を提供する。【解決手段】無機圧電材料21に電極22a,22b を構成してなる縦振動モードあるいは厚み振動モードの第1超音波振動子2と、高分子圧電膜31の両面に可撓性を有する電極24a,24b を構成し,一方の面を第1超音波振動子2の超音波放出面側と接合し,他方の面を超音波放射面25とする厚み振動モードの第2超音波振動子3と、を備え、第1超音波振動子2を送信用超音波センサとして励振し,第2超音波振動子3を経由してこの超音波放射面25から対象物5に超音波信号5aを送信し、また、第2超音波振動子3を受信用超音波センサとして送信されてくる超音波信号5bを受信する。
請求項(抜粋):
無機圧電材料に電極を構成してなる縦振動モードあるいは厚み振動モードの第1超音波振動子と、高分子圧電膜の両面に可撓性を有する電極を構成し,一方の面を第1超音波振動子の超音波放出面側と接合し,他方の面を超音波放射面とする厚み振動モードの第2超音波振動子と、を備え、第1超音波振動子を送信用超音波センサとして励振し,第2超音波振動子を経由してこの超音波放射面から対象物に超音波信号を送信し、また、第2超音波振動子を受信用超音波センサとして送信されてくる超音波信号を受信する、ことを特徴とする超音波センサ。
IPC (2件):
G01F 1/66 ,  G01F 1/66 101
FI (2件):
G01F 1/66 A ,  G01F 1/66 101
Fターム (2件):
2F035DA05 ,  2F035DA14
引用特許:
審査官引用 (3件)

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