特許
J-GLOBAL ID:200903071158766973

画像認識手段による電子部品の位置検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石井 暁夫 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-174984
公開番号(公開出願番号):特開平5-021506
出願日: 1991年07月16日
公開日(公表日): 1993年01月29日
要約:
【要約】【目的】ICペレット上の電極パッドE0等のワークの基準位置の検出精度を向上させる。【構成】移動可能なXYテーブル上に搭載したテレビカメラでリードフレーム上のICペレットの電極パッドE0,E1,E2等を撮像して得た画像データ34と、設計パターン等の基準パターン32のデータとを一致するか否かのパターンマッチング及び電極パッドの座標の荒位置検出演算を実行したのち、再度前記基準となる電極パッドE0の位置がテレビカメラの光軸(原点)の近傍に来るようにXYテーブルを移動制御させたた後、再度基準の電極パッドE0の座標位置を精密に検出することで、テレビカメラの光学系の歪みの影響を無くする。
請求項(抜粋):
電子部品等のワークの画像データを画像認識手段におけるテレビカメラ等の光学的撮像手段で読み取り、この検出した画像データを予め記憶させた基準位置データと比較して、ワークの基準位置を検出するようにした電子部品の位置検出装置において、光学的撮像手段またはワークを、光学的撮像手段の光学系の光軸と交差する平面上で相対的に移動させて、画像データを取り込み、ワークにおける基準位置を荒位置決めするための座標検出を実行し、光学的撮像手段またはワークを、再度相対的に移動させて前記ワークにおける基準位置を前記光軸近傍に来るように制御する制御手段を設けたことを特徴とする画像認識手段による電子部品の位置検出装置。
IPC (3件):
H01L 21/60 301 ,  G01B 11/24 ,  G06F 15/62 405

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