X線観察装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-181046
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043600
出願日： 1994年08月02日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】本発明は、X線X線観察装置に関し、荷電粒子によってターゲットを2次元走査し発生したX線で試料を2次元照射し、試料から発生したX線を検出して画面上に荷電粒子の走査に同期し2次元のX線像を表示し、試料を拡大した2次元像の表示を実現することを目的とする。【構成】荷電粒子を発生する荷電粒子源と、荷電粒子をターゲット11に集束する集束レンズと、荷電粒子を2次元的に走査する偏向器と、荷電粒子を照射してX線を発生させるターゲット11と、ターゲット11に近接して配置し発生したX線を透過させる試料16と、試料16を透過したX線を検出するX線検出器15と、ターゲット11から発生したX線を検出する参照X線検出器10とを備え、参照X線検出器10によって検出された参照信号を基準に、X線検出器15で検出された信号を画面上に、偏向器に同期して2次元的に表示するように構成する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子を発生する荷電粒子源と、この荷電粒子源によって発生された荷電粒子をターゲット(11)に集束する集束レンズと、ターゲット(11)に集束される荷電粒子を2次元的に走査する偏向器と、荷電粒子を照射してX線を発生させるターゲット(11)と、このターゲット(11)に近接して配置し、当該ターゲット(11)によって発生したX線を透過させる試料(16)と、この試料(16)を透過したX線を検出するX線検出器(15)と、上記ターゲット(11)から発生したX線を検出する参照X線検出器(10)とを備え、上記参照X線検出器(10)によって検出された参照信号を基準に、上記X線検出器(15)で検出された信号を画面上に、上記偏向器に同期して2次元的に表示することを特徴とするX線観察装置。

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