インクジェットヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-295957
公開番号（公開出願番号）：特開2003-094664
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】絶縁層のオーバーエッチングを有効に防止して、組み立て精度を向上させることが可能なインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】単結晶シリコンから成るベースプレート2の上面に、酸化珪素を主成分とする絶縁層3、複数個の発熱抵抗体5及び保護膜7を順次被着してなるヘッド基板1と、一部が隣接する発熱抵抗体間5-5の保護膜7上に載置され、該載置部で隣接する発熱抵抗体3,3を隔てる隔壁部材8と、該隔壁部材8上に載置され、ヘッド基板1の上面と隔壁部材8の壁面とで囲まれる領域に設けたインク流路を塞ぐための天板9とを具備するインクジェットヘッドであって、前記ヘッド基板1の絶縁層3と発熱抵抗体5との間で、複数個の発熱抵抗体5の配列領域にわたり、窒化珪素を主成分とするアンダーコート層4を介在させる。

請求項（抜粋）：

単結晶シリコンから成るベースプレートの上面に酸化珪素を主成分とする絶縁層を形成するとともに該絶縁層上に複数個の発熱抵抗体を配列させ、これらを保護膜で被覆してなるヘッド基板と、一部が隣接する発熱抵抗体間の保護膜上に載置され、該載置部で隣接する発熱抵抗体を隔てる隔壁部材と、前記隔壁部材上に載置され、前記ヘッド基板の上面と前記隔壁部材の壁面とで囲まれる領域に設けたインク流路を塞ぐための天板とを具備し、前記発熱抵抗体の発する熱によって前記インク流路内のインクをインク吐出孔より吐出させて印画を形成するインクジェットヘッドであって、前記ヘッド基板の絶縁層と発熱抵抗体との間で、複数個の発熱抵抗体の配列領域にわたり、窒化珪素を主成分とするアンダーコート層を介在させたことを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (2件)：

B41J 2/05 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 B , B41J 3/04 103 H

Fターム (12件)：

2C057AF93 , 2C057AG16 , 2C057AG46 , 2C057AP02 , 2C057AP33 , 2C057AP52 , 2C057AP54 , 2C057AP56 , 2C057AQ02 , 2C057AQ06 , 2C057BA03 , 2C057BA13

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