特許

J-GLOBAL ID：200903071173569742

半導体装置およびその作製方法

発明者： 浜田 崇 ,  村上 智史 ,  山崎 舜平 ,  中村 理 ,  梶原 誠之 ,  肥塚 純一 ,  高山 徹
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-009440
公開番号（公開出願番号）：特開2002-324808
出願日： 2002年01月18日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】 画素部や駆動回路の要求に合わせてTFTの構造を最適化しようとすると製造工程が複雑となってしまう。また、触媒元素を添加して結晶質半導体膜を形成した場合、触媒元素の濃度を十分に低減しないでTFTを形成するとオフ電流が突発的に上がってしまう等の問題がある。【解決手段】 第1のnチャネル型TFTの半導体層はゲート電極の外側に設けられた第1の不純物領域及び第2の不純物領域を有し、第2のnチャネル型TFTの半導体層はゲート電極と一部が重なるように設けられ、かつ、ゲート電極の外側に設けられた第3の不純物領域を有し、pチャネル型TFTの半導体層はゲート電極と一部が重なるように設けられた第4の不純物領域、ゲート電極の外側に設けられた第5の不純物領域を有する半導体装置であり、触媒元素を用いて形成された結晶質シリコン膜からバリア層を介して希ガス元素を含む半導体膜に触媒元素を移動させる。

請求項（抜粋）：

第1のnチャネル型TFTと第2のnチャネル型TFTとpチャネル型TFTとを同一基板上に備えた半導体装置であって、前記第1のnチャネル型TFTの半導体層に形成される第2の不純物領域と第3の不純物領域とはゲート電極の外側に設けられ、前記第2のnチャネル型TFTの半導体層に形成される第2の不純物領域はゲート電極と一部が重なるように設けられ、かつ、第3の不純物領域はゲート電極の外側に設けられ、前記pチャネル型TFTの半導体層に形成される第4の不純物領域はゲート電極と一部が重なるように設けられ、かつ、第5の不純物領域はゲート電極の外側に設けられていることを特徴とする半導体装置。

IPC (8件)：

H01L 21/336 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/322 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/08 331 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/786

FI (9件)：

G02F 1/1368 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/322 G ,  H01L 27/08 331 E ,  H01L 29/78 616 A ,  H01L 27/08 321 E ,  H01L 29/78 627 Z ,  H01L 29/78 613 A ,  H01L 29/78 627 G

Fターム (108件)：

2H092JA24 ,  2H092JA28 ,  2H092KA05 ,  2H092MA28 ,  2H092MA30 ,  2H092MA37 ,  2H092NA27 ,  5F048AC04 ,  5F048BA16 ,  5F048BC06 ,  5F052AA02 ,  5F052AA17 ,  5F052AA24 ,  5F052BA04 ,  5F052BA07 ,  5F052BB01 ,  5F052BB02 ,  5F052BB05 ,  5F052BB07 ,  5F052DA02 ,  5F052DA03 ,  5F052DB02 ,  5F052DB03 ,  5F052DB07 ,  5F052EA16 ,  5F052FA06 ,  5F052FA19 ,  5F052JA01 ,  5F110AA06 ,  5F110AA16 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC06 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE23 ,  5F110EE28 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF12 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL11 ,  5F110HM15 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110NN78 ,  5F110PP01 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP06 ,  5F110PP13 ,  5F110PP26 ,  5F110PP29 ,  5F110PP34 ,  5F110PP35 ,  5F110PP38 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ28