特許
J-GLOBAL ID：200903071173925832
外観検査の項目判別方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江原 省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-287195
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140090
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 対象物の被検査画像から抽出した複数の検出画像の外観検査項目を一度に高速判別する外観検査の項目判別方法を提供する。【構成】 被検査物体を撮像して得た被検査画像と予め設定した基準画像とを比較・演算して2値化した検出画像5を抽出した検出画面9を設ける工程と、検出画像5の外観検査項目に対応して複数の異なる領域パターン10a、10b、10cを形成すると共に、この領域パターン10a、10b、10c毎にそれぞれ異なる数の画素値を付与した領域画面10を設定する工程と、上記検出画面9及び領域画面10の対応する画素間 で各画素値を演算処理して演算値から検出画像5が存在している異なる領域パタ ーン10a、10b、10cを特定し、複数の検出画像5a、5b、5cの各外観検査項目を一度に 判別する工程とを含む。
請求項（抜粋）：
被検査物体を撮像した被検査画像と予め設定した基準画像とを比較・演算して2値化した検出画像を抽出した検出画面を設ける工程と、この検出画像の外観検査項目に対応して複数の異なる領域パターンを形成すると共に、この領域パターン毎にそれぞれ異なる数の画素値を付与した領域画面を設ける工程と、上記検出画面及び領域画面の対応する画素間で各画素値を演算処理して演算値から複数の検出画像が存在している異なる領域パターンを一度に特定し、複数の検出画像の各外観検査項目を一度に判別する工程とを含むことを特徴とする外観検査の項目判別方法。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06T 7/00
, H01L 21/66
